در این مقاله، نانومیله‌های اکسیدروی بر روی سه نوع مختلف از زیرلایه شامل سیلیکون (Si)، لام شیشه‌ای پوشش داده شده با ITO و لام شیشه‌ای به روش هیدروترمال رشد کرده‌اند. نتایج به دست آمده نشان داده است که نوع زیرلایه می‌تواند بر شکل، ساختار و خواص اپتیکی نانومیله‌های اکسیدروی تاثیر گذار باشد. نتایج به دست آمده از آنالیز SEM نشان داده که رشد نانومیله‌ها بر روی زیرلایه‌ی لام شیشه‌ای با چگالی بسیار بالا انجام شده است. آنالیز XRD مشخص کرده است که نانومیله‌های رشد یافته بر روی هر سه نوع زیرلایه در راستای محور-c و عمود بر زیرلایه می‌باشد (در راستای (002)). اما شدت پیک متناسب با صفحه‌ی کریستالی (002) در نمونه‌ی رشد یافته بر روی لام شیشه‌ای نسبت به دو نمونه‌ی دیگر بسیار بیشتر می‌باشد. علاوه بر آنالیزهای ساختاری، آنالیز فوتولومینسانس (PL) نیز به منظور بررسی خواص اپتیکی نانومیله‌ی رشد یافته بر روی سه زیرلایه‌ی مذکور انجام شد. نتایج حاکی از آن است که رفتار اپتیکی سه نمونه‌ی رشد یافته بر روی سه زیرلایه‌ی مذکور کاملا متفاوت است و نانومیله‌های رشد یافته بر روی Si از خواص اپتیکی بهتری برخوردار می-باشند.